En vakuumpumpe er en enhet eller utstyr som bruker mekaniske, fysiske, kjemiske eller fysisk-kjemiske metoder for å evakuere en beholder og skape et vakuum. I enklere termer er en vakuumpumpe en enhet som bruker ulike metoder for å forbedre, generere og opprettholde et vakuum i et lukket rom.
(1) Den har en relativt høy pumpehastighet over et bredt trykkområde;
(2) Rotoren har god geometrisk symmetri, noe som resulterer i lav vibrasjon og jevn drift. Det er hull mellom rotorene og mellom rotoren og foringsrøret, noe som eliminerer behovet for smøring, minimerer friksjonstap og reduserer drivkraften betydelig, og muliggjør dermed høyere hastigheter;
(3) Ingen oljetetning eller smøring er nødvendig inne i pumpekammeret, noe som reduserer oljedampforurensning av vakuumsystemet;
(4) Det er ingen kompresjons- eller eksosventil inne i pumpekammeret. Strukturen er enkel og kompakt, og den er ikke følsom for støv og vanndamp i den pumpede gassen;
(5) Kompresjonsforholdet er relativt lavt, noe som resulterer i dårlig pumpeeffekt for hydrogen;
(6) Rotoroverflaten er en relativt kompleks buet sylindrisk overflate, noe som gjør maskinering og inspeksjon vanskelig.
